@inproceedings{CTT100910021, author = {吉本純平 and 田岡祐樹 and 齋藤滋規}, title = {柔軟薄膜の複曲面貼り付けを目指したオーセティックパターンを有する双極型静電吸着デバイスの開発}, booktitle = {}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100910022, author = {吉本純平 and 齋藤滋規 and 祐樹 田岡}, title = {双極型静電吸着デバイスの複曲面対応を目指したオーセティックパターンを用いた複曲面生成構造の開発}, booktitle = {精密工学会学術講演会講演論文集}, year = 2023, } @misc{CTT100932504, author = {齋藤滋規 and 吉本純平 and 田岡祐樹}, title = {静電吸着デバイス、反り矯正方法、及び取付方法}, howpublished = {登録特許}, year = 2025, month = {}, note = {特願2024-139159(2024/08/20), 特許第7614687号(2025/01/07)} } @misc{CTT100934629, author = {齋藤滋規 and 吉本純平 and 田岡祐樹}, title = {静電吸着デバイス、反り矯正方法、及び取付方法}, howpublished = {公開特許}, year = 2025, month = {}, note = {PCT/JP2024/030734(2024/08/28), WO 2025/047804(2025/03/06)} }