@inproceedings{CTT100549474,
  author = {黒川康良 and 富田茂樹 and 宮島晋介 and 山田 明 and 小長井 誠},
  title = {シリコン量子ドット超格子膜のVHFプラズマによる再水素化},
  booktitle = {第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集},
  year = 2007,
}