@inproceedings{CTT100632116, author = {清水貴也 and 羽賀健一 and 徳光永輔 and 金田敏彦 and 下田達也}, title = {様々な液体原料を用いたIn-Zn-O薄膜の形成と薄膜トランジスタ応用}, booktitle = {}, year = 2011, }