@inproceedings{CTT100813991, author = {K. Tsutsui and K. Natori and T. Ogawa and T. Muro and T. Matsuishita and Y. Morikawa and T. Hoshii and K. Kakushima and H. Wakabayashi and K. Hayashi and F. Matsui and T. Kinoshita}, title = {Analyses of 3D Atomic Arrangements of Dopants in Si Crystal Using Spectro-photoelectron Holography}, booktitle = {}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100816750, author = {筒井 一生 and 松下 智裕 and 名取 鼓太郞 and 小川 達博 and 室 隆桂之 and 森川 良忠 and 星井 拓也 and 角嶋 邦之 and 若林 整 and 林 好一 and 松井 文彦 and 木下 豊彦}, title = {光電子ホログラフィーによる半導体中の不純物の3D原子イメージング}, booktitle = {}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100816745, author = {筒井一生 and 松下智裕 and 室隆桂之 and 森川良忠 and 名取鼓太郎 and 小川達博 and 星井拓也 and 角嶋邦之 and 若林整 and 林好一 and 松井文彦 and 木下豊彦}, title = {光電子ホログラフィー法によるシリコン中にドープされた不純物の三次元原子配列構造の解析}, booktitle = {}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100816743, author = {小川 達博 and 名取 鼓太郎 and 星井 拓也 and 仲武 昌史 and 渡辺 義夫 and 永山 勉 and 樋口 隆弘 and 加藤 慎一 and 谷村 英昭 and 角嶋 邦之 and 若林 整 and 筒井 一生}, title = {フラッシュランプアニールおよびポストアニールで活性/不活性化したSi中Asの軟X線光電子分光による評価}, booktitle = {}, year = 2018, } @inproceedings{CTT100786668, author = {Kotaro Natori and Tatsuhiro Ogawa and Takuya Hoshii and Tomohiro Matsushia and Takayuki Muro and Toyohiko Kinoshita and Yoshitada Morikawa and Kuniyuki Kakushima and Fumihiko Matsui and Kouichi Hayashi and Hitoshi Wakabayashi and Kazuo Tsutsui}, title = {Atomic scale analyses of As doped in Si by soft X-ray photoelectron spectroscopy and spectro-photoelectron holography}, booktitle = {}, year = 2017, }