@inproceedings{CTT100941639,
  author = {吉井 大翔 and 土居 謙太 and 清田 哲司 and 叶 宇晨 and 何 文涛 and 赤塚 洋},
  title = {トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断},
  booktitle = {第73回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集},
  year = 2026,
}

@inproceedings{CTT100936253,
  author = {吉井 大翔 and 菊地 健彦 and 守田 憲司 and 北村 俊昭 and 西山 伸彦},
  title = {Si基板上SiO2窓構造への異種材料小片接合プロセスに向けたエッチングプロセスの検討},
  booktitle = {},
  year = 2025,
}