@inproceedings{CTT100932765,
  author = {後藤 亜花里 and 田岡 祐樹 and 齋藤 滋規},
  title = {弾性梁構造由来の柔軟性を持つ静電吸着装置とその真空対応設計・製作及び性能評価},
  booktitle = {},
  year = 2025,
}