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狩野弘毅 研究業績一覧 (6件)
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国際会議発表 (査読有り)
国際会議発表 (査読なし・不明)
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狩野弘毅,
川崎朋晃,
西井大亮,
桑原 一,
袖子田竜也,
徳地 明,
堀岡一彦.
対向プラズマフォーカス型EUV光源装置の準定常動作,
PLASMA CONFERENCE 2014,
Nov. 2014.
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Tatsuya Sodekoda,
Hajime Kuwabara,
Masashi Masuda,
Shijia Liu,
Kouki Kanou,
Kenta Kawaguchi,
Kazuhiko Horioka.
Repetitive operation of counter-facing plasma focus device: toward a practical light source for EUV lithography,
SPIE,
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V,
Vol. 9048,
pp. 904824-1-8,
Apr. 2014.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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K. Kano,
S. Liu,
T. Sodekoda,
H. Kuwabara,
A. Tokuchi,
M. Nakajima,
T. Kawamura,
K. Horioka.
Power Flow in Counter-Facing Plasma Guns for Extreme Ultra-Violet Plasma Light Source,
Frontiers of Applied Pulse Power Technology,
NIFS-PROC-105 : Proc. National Institute for Fusion Science,
Vol. 105,
pp. 39 -43,
Aug. 2017.
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K. Kawaguchi,
T.Sodekoda,
H. Kuwabara,
M. Masuda,
S. Liu,
K. Kanou,
M. Nakajima,
T. Kawamura,
K. Horioka.
Plasma Dynamics in Counter-Facing Plasma-Focus Type Extreme-Ultraviolet Light Source,
Frontiers in Applied Pulse Power Technology,
NIFS-PROC-105 : Proc. National Institute for Fusion Science,
Vol. 105,
pp. 44 48,
Aug. 2017.
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劉 世家,
増田政史,
狩野弘毅,
川口健太,
袖子田竜也,
桑原 一,
長谷川純,
河村 徹,
中島充夫,
堀岡一彦.
放電プラズマ型極端紫外光発生装置の電極現象に関する研究,
パルスパワー研究会,
電気学会研究会資料,
PPT-13,
pp. 5-8,
Aug. 2013.
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