@inproceedings{CTT100800103,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100790674,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 曽根 正人 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100775374,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760805,
  author = {新島 宏文 and 乙部 翔太 and 高安 基大 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 伊藤 浩之 and 年吉 洋 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760801,
  author = {新島 宏文 and 乙部 翔太 and 高安 基大 and 山根 大輔 and 伊藤 浩之 and 佐布 晃昭 and 小西 敏文 and 道正 志郎 and 飯田 慎一 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100780791,
  author = {Hirofumi Niijima and Motohiro Takayasu and Daisuke Yamane and Toshifumi Konishi and Teruaki Safu and Hiroyuki Ito and Shiro Dosho and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100755519,
  author = {新島 宏文 and 高安 基大 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 伊藤 浩之 and 年吉 洋 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}