@inproceedings{CTT100925808, author = {飯田大介 and 高村陽太 and 中川茂樹}, title = {RTA の合金化プロセスにおける熱電ホイスラー合金Fe2VAl 薄膜の作製}, booktitle = {}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100925810, author = {中川茂樹 and 横澤諒 and 飯田大介 and 佐々木康宣 and 高村陽太 and 中光豊 and 神保 武人}, title = {高基板温度におけるスパッタ膜形成時の内部応力in-situ観測}, booktitle = {}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100910240, author = {飯田大介 and 熊谷洋志 and 高村 陽太 and 中川 茂樹}, title = {RTAの合金化プロセスにおける不純物形成の抑制と高品質な熱電ホイスラー合金Fe2TiAl薄膜の作製}, booktitle = {}, year = 2024, }