@inproceedings{CTT100600674, author = {竹崎慶太郎 and 日野史郎 and 三浦 成久 and 大森 達夫 and 徳光永輔}, title = {窒化処理とAl2O3堆積膜を用いた4H-SiC MOSFETの作製と評価}, booktitle = {}, year = 2009, } @inproceedings{CTT100589333, author = {竹崎慶太郎 and 日野史郎 and 三浦成久 and 大森達夫 and 徳光永輔}, title = {窒化処理とAL2O3堆積膜を用いた4H-SiC MOSFETの作製と評価}, booktitle = {第70回 応用物理学会学術講演会}, year = 2009, }