@inproceedings{CTT100941066, author = {Chen Songyang and Rio Komatsubara and Hiroki Akasaka}, title = {Deposition of amorphous carbon films using a multipole sputtering gun with neodymium magnets}, booktitle = {}, year = 2025, } @inproceedings{CTT100903423, author = {小松原 理央 and 玉田 耕治 and 平田 祐樹 and 大竹 尚登 and 赤坂 大樹}, title = {ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からの アモルファス炭素膜の作製}, booktitle = {2023年 第84回応用物理学会 秋季学術講演会要旨集}, year = 2023, }