@inproceedings{CTT100576388,
  author = {日野雅文 and 吉田哲也 and 小瀬村 大亮 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 杉井信之 and 小椋 厚志 and 服部健雄 and 岩井洋},
  title = {SiN応力膜によるSi基板への歪記憶の検討},
  booktitle = {春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集},
  year = 2008,
}