@inproceedings{CTT100546581, author = {寺田健 and 中島充夫 and 河村徹 and 細貝知直 and 堀田栄喜 and 堀岡一彦}, title = {磁場ガイド放電プラズマを用いた長パルスEUV光源}, booktitle = {電気学会研究会資料}, year = 2007, }