@article{CTT100685143, author = {山根 大輔 and 小西 敏文 and 松島 隆明 and 亀井 将太 and 益 一哉 and 町田 克之}, title = {高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法}, journal = {電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)}, year = 2015, } @inproceedings{CTT100692273, author = {高安 基大 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 亀井 将太 and 伊藤 浩之 and 道正 志郎 and 石原 昇 and 年吉 洋 and 益 一哉 and 町田 克之}, title = {慣性センサを用いた移動体制御の基礎検討}, booktitle = {}, year = 2015, } @inproceedings{CTT100677571, author = {山根大輔 and 小西敏文 and 松島隆明 and 亀井将太 and 益 一哉 and 町田克之}, title = {高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討}, booktitle = {}, year = 2014, } @inproceedings{CTT100676376, author = {亀井将太 and 山根大輔 and 小西敏文 and 松島隆明 and 年吉 洋 and 町田克之 and 益 一哉}, title = {集積化CMOS?MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討}, booktitle = {}, year = 2014, } @inproceedings{CTT100674567, author = {山根大輔 and 亀井将太 and 小西敏文 and 松島隆明 and 年吉 洋 and 益 一哉 and 町田克之}, title = {集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ}, booktitle = {}, year = 2014, } @inproceedings{CTT100674568, author = {松島隆明 and 小西敏文 and 山根大輔 and 亀井将太 and 年吉 洋 and 益 一哉 and 町田克之}, title = {積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討}, booktitle = {}, year = 2014, }