@article{CTT100628738,
  author = {森澤利浩 and 小林裕通 and 武田行生},
  title = {非線形プロセスモデルに基づくCMP-APC（第2報，セリアスラリーによる酸化膜のCMPのRun-to-Run制御）},
  journal = {精密工学会誌},
  year = 2011,
}