@inproceedings{CTT100585433,
  author = {中山寛人 and 日野雅文 and 永田晃基 and 小瀬村大亮 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 杉井信之 and 小椋厚志 and 服部健雄 and 岩井洋},
  title = {As注入とSiN応力膜によるpoly-Siへの歪記憶の検討},
  booktitle = {第56回応用物理学関係連合講演会予稿集},
  year = 2009,
}

@inproceedings{CTT100585114,
  author = {中山寛人 and 日野雅文 and 服部健雄 and 杉井信之 and 筒井一生 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 小椋厚志 and 永田 晃基 and 吉田 哲也 and 小瀬村大亮 and 岩井洋},
  title = {Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討},
  booktitle = {応用物理学会},
  year = 2008,
}

@inproceedings{CTT100576388,
  author = {日野雅文 and 吉田哲也 and 小瀬村 大亮 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 杉井信之 and 小椋 厚志 and 服部健雄 and 岩井洋},
  title = {SiN応力膜によるSi基板への歪記憶の検討},
  booktitle = {春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集},
  year = 2008,
}