@inproceedings{CTT100585427,
  author = {横田知之 and 酒井一憲 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 岩井洋},
  title = {反復剥離法による3次元Fin構造中ドーピングプロファイル測定の提案},
  booktitle = {第56回応用物理学関係連合講演会予稿集},
  year = 2009,
}

@inproceedings{CTT100585107,
  author = {中川恭成 and 野平博司 and 酒井一憲 and 横田 知之 and 甲斐 隆行 and 金成国 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 水野文二 and 服部健雄 and 筒井一生 and 岩井洋},
  title = {光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価},
  booktitle = {応用物理学会},
  year = 2008,
}

@inproceedings{CTT100585117,
  author = {酒井一憲 and 中川恭成 and 横田知之 and 金成国 and 岡下勝己 and 佐々木雄一朗 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 水野文二 and 服部健雄 and 筒井一生 and 岩井洋},
  title = {3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング},
  booktitle = {秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集},
  year = 2008,
}