@inproceedings{CTT100585442,
  author = {星野憲文 and 中川恭成 and 野平博司 and 室 隆桂之 and 加藤 有香子 and 甲斐隆行 and 金成国 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 水野文二 and 木下 豊彦 and 筒井一生 and 服部健雄 and 岩井洋},
  title = {光電子分光によるSi中Asの化学結合状態評価},
  booktitle = {第56回応用物理学関係連合講演会予稿集},
  year = 2009,
}

@inproceedings{CTT100585107,
  author = {中川恭成 and 野平博司 and 酒井一憲 and 横田 知之 and 甲斐 隆行 and 金成国 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 水野文二 and 服部健雄 and 筒井一生 and 岩井洋},
  title = {光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価},
  booktitle = {応用物理学会},
  year = 2008,
}

@inproceedings{CTT100830643,
  author = {Kazuo Tsutsui and Masamitsu Watanabe and Yasumasa Nakagawa and Kazunori Sakai and Takayuki Kai and Cheng-Guo Jin and Yuichiro Sasaki and Kuniyuki Kakushima and Parhat Ahmet and Bunji Mizuno and Takeo Hattori and Hiroshi Iwai.},
  title = {Profiling of Carrier Properties for Shallow Junctions Using a New Sub-nanometer Step-by-step Etching Technique},
  booktitle = {},
  year = 2008,
}