@inproceedings{CTT100585114,
  author = {中山寛人 and 日野雅文 and 服部健雄 and 杉井信之 and 筒井一生 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 小椋厚志 and 永田 晃基 and 吉田 哲也 and 小瀬村大亮 and 岩井洋},
  title = {Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討},
  booktitle = {応用物理学会},
  year = 2008,
}