@inproceedings{CTT100628219, author = {宮田陽平 and 金原潤 and 難波覚 and 三角元力 and 筒井一生 and 野平博司 and 室隆桂之 and 木下豊彦 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 服部健雄 and 岩井洋}, title = {軟X線光電子分光法を用いたFin構造中の不純物化学結合状態分析}, booktitle = {}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100603767, author = {田中正興 and 星野憲文 and 筒井一生 and 野平博司 and 室隆桂之 and 加藤有香子 and 木下豊彦 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 服部健雄 and 岩井洋}, title = {光電子分光により検出したSi中のAsおよびPの化学結合状態の評価}, booktitle = {第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集}, year = 2010, }