@inproceedings{CTT100600007,
  author = {野平博司 and 白石 貴義 and 高橋 健介 and 柏木 郁未 and 大島 千鶴 and 大見俊一郎 and 岩井洋 and 城森 慎司 and 中嶋 薫 and 鈴木 基史 and 木村 健二 and 服部 健雄},
  title = {極薄希土類酸化膜/Si(100)界面構造（極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術）},
  booktitle = {電子情報通信学会技術研究報告、SDM、シリコン材料・デバイス},
  year = 2003,
}