@inproceedings{CTT100604824, author = {篠原大輔 and 西中浩之 and 大島孝仁 and 騎馬啓嗣 and 鎌田雄大 and 川原村敏幸 and 藤田静雄}, title = {ミストCVD法によるsapphire基板上α-Ga2O3 薄膜の成長}, booktitle = {}, year = 2008, }