@inproceedings{CTT100613068, author = {藤原 琢 and 石原 昇 and 天川 修平 and 山之内 悠 and 田邉 裕貴 and 野村 聡 and 小西 敏文 and 町田 克之 and 益 一哉}, title = {ISFET を用いた小型低電力ワイヤレス pH センサモジュール}, booktitle = {応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催 集積化 MEMS シン ポジウ ム 2010}, year = 2010, }