@article{CTT100625571, author = {Toshinori Fujita and Kazutoshi Sakaki and Yusuke Takagi and Kenji Kawashima and Toshiharu Kagawa}, title = {Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows}, journal = {Int. J. of Automation Technology}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100646529, author = {村木雄飛 and 藤田壽憲 and 榊和敏 and 川嶋健嗣 and 香川利春}, title = {空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージのナノ位置決め}, booktitle = {平成24年度秋季フルードパワーシステム講演会 講演論文集}, year = 2012, } @inproceedings{CTT100644323, author = {村木雄飛 and 藤田壽憲 and 榊和敏 and 川嶋健嗣 and 香川利春}, title = {空気圧ベローズを用いた静圧案内微動ステージの超精密位置決め}, booktitle = {}, year = 2012, } @inproceedings{CTT100631355, author = {山本敏之 and 藤田壽憲 and 川嶋健嗣 and 香川利春 and 榊和敏}, title = {空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め}, booktitle = {計測自動制御学会産業応用部門講演論文集}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100616040, author = {山本 敏之 and 藤田壽憲 and 川嶋健嗣 and 香川利春 and 榊 和敏}, title = {低流体ノイズ弁による空気圧微動ステージの超精密位置決め制御}, booktitle = {平成22年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集}, year = 2010, }