@inproceedings{CTT100631355, author = {山本敏之 and 藤田壽憲 and 川嶋健嗣 and 香川利春 and 榊和敏}, title = {空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め}, booktitle = {計測自動制御学会産業応用部門講演論文集}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100616040, author = {山本 敏之 and 藤田壽憲 and 川嶋健嗣 and 香川利春 and 榊 和敏}, title = {低流体ノイズ弁による空気圧微動ステージの超精密位置決め制御}, booktitle = {平成22年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集}, year = 2010, }