@inproceedings{CTT100935508,
  author = {宋俊東 and 寺島日海 and 柴尾直樹 and 小野晋吾 and 中嶋宇史 and 春本高志 and 史蹟 and 岡村総一郎},
  title = {レーザー加工によるd33モードの圧電MEMSデバイスの開発},
  booktitle = {},
  year = 2025,
}