@book{CTT100645577,
  author = {益一哉 and 町田克之 and 年吉洋 and 江刺 正喜 and 藤田博之 and 石田誠 and 田中 秀治 and 高橋 一浩 and 越田信義 and 小山 英樹 and 佐々木 実 and 秦誠一 and 橋口 原 and 高尾 英邦 and 永瀬 雅夫 and 山口 浩司 and 北澤 正志 and 前中 一介 and 澤田和明 and 柴崎 一郎 and 野村聡 and 竹内 幸裕 and 柴田 英毅 and 楢崎 祥一 and 鈴木 雄二 and 西岡 泰城 and 森村 浩季 and 日暮 栄治 and 千野 満 and 内山 直己 and 足立 秀喜 and 井上 晴伸 and 橋本 秀樹},
  title = {異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合?},
  publisher = {株式会社 シーエムシー出版},
  year = 2012,
}