@inproceedings{CTT100663849, author = {井上 広章 and ミイ シャオユウ and 藤原 隆之 and 勝木 隆史 and 豊田 治 and 中澤 文彦 and 高安 基大 and 石原 昇 and 益 一哉}, title = {LTCC基板を用いた3次元集積化デジタルMEMS可変フィルタモジュール}, booktitle = {}, year = 2013, }