@inproceedings{CTT100673587,
  author = {布目 敬教 and 坂元尚紀 and 篠崎和 夫 and 鈴木久男 and 脇谷尚樹},
  title = {RF マグネトロンスパッタリング法によるPt/MgO/Si （₀₀₁） ヘテロエピタキシャル成長薄膜電極の作製 ～PZT/Pt/MgO からのPZT/Pt 自立膜の作 製のためのエッチング条件の検討～},
  booktitle = {日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム講演予稿集},
  year = 2012,
}