@inproceedings{CTT100822935, author = {星井 拓也 and 中島 昭 and 西澤 伸一 and 大橋 弘通 and 角嶋 邦之 and 若林 整 and 筒井 一生}, title = {分極接合基板におけるAlGaN/GaNヘテロ界面の欠陥電荷評価}, booktitle = {}, year = 2019, }