@inproceedings{CTT100742178,
  author = {前田 幸平 and 西岡國生 and ヴァン ニュハイ and 松谷晃宏 and 立木 隆 and 内田 貴司},
  title = {Deep-RIEとXeF2気相エッチングによるVOx/Si3N4/SiO2メンブレンの製作},
  booktitle = {第64回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集},
  year = 2017,
}