@article{CTT100771841,
  author = {前田幸平 and Van Nhu Hai and 西岡國生 and 松谷晃宏 and 立木隆 and 内田貴司},
  title = {MOD 法により Si3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータの特性評価},
  journal = {電気学会論文誌 A},
  year = 2018,
}