@inproceedings{CTT100845177,
  author = {佐藤美那 and 松谷晃宏 and 津久井遼 and 木野勝 and 山本広大 and 栗田光樹夫 and 長田 哲也},
  title = {ドライエッチングにより作製したメンブレン構造のNbO薄膜の顕微分光透過率測定とEDX分析},
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  year = 2021,
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