@book{CTT100892709, author = {監修 權田俊一 and 編集委員 酒井忠司 and 田畑仁 and 八瀬清志 and 編集協力委員 宮崎照宜}, title = {2020版薄膜作製応用ハンドブック}, publisher = {NTS}, year = 2020, }