@inproceedings{CTT100936253,
  author = {吉井 大翔 and 菊地 健彦 and 守田 憲司 and 北村 俊昭 and 西山 伸彦},
  title = {Si基板上SiO2窓構造への異種材料小片接合プロセスに向けたエッチングプロセスの検討},
  booktitle = {},
  year = 2025,
}