@inproceedings{CTT100936264,
  author = {糟谷 直孝 and 田中 肇 and 小松 憲人 and 三澤 太一 and 井上 尚子 and 菊地 健彦 and 御手洗 拓矢 and 木村 峻 and 藤原 直樹 and 西山 伸彦 and 八木 英樹},
  title = {Si基板上SiO2窓構造への異種材料小片接合プロセスに向けたエッチングプロセスの検討},
  booktitle = {},
  year = 2025,
}