@inproceedings{CTT100810776, author = {中川茂樹 and 林原久憲 and 中込将成 and 小川良正 and 高村陽太}, title = {スパッタ成膜中の強磁性薄膜成長過程の内部応力観測}, booktitle = {信学技報}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100808708, author = {S. Nakagawa and Y. Ogawa and Y. Takamura}, title = {In-situ observation of residual stress in granular type alloy-oxide composite thin films}, booktitle = {}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100799434, author = {小川 良正 and 亀田 恵佑 and 高村 陽太 and 中川 茂樹}, title = {ナノグラニュラー磁性薄膜形成初期段階における膜内部応力の in-situ観測}, booktitle = {}, year = 2019, } @inproceedings{CTT100771307, author = {高村陽太 and 小川良正 and 古我城航 and 中川茂樹 and 藤﨑敬介}, title = {パワーエレクトロニクス励磁のための対向ターゲット式スパッタによる1μm厚鋼帯の試作}, booktitle = {}, year = 2018, }