@inproceedings{CTT100917907, author = {坂井 朗 and 桃園 聡 and 平田 敦 and 青野祐子}, title = {レーザ表面改質による石英基板間の液体制御}, booktitle = {2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集}, year = 2023, }