@inproceedings{CTT100753203,
  author = {野口道臣 and 庄司雄哉 and 水本哲弥},
  title = {有機金属分解法およびスパッタ法によるシリコン基板上へのセリウム置換型イットリウム鉄ガーネットの製膜},
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  year = 2017,
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