@inproceedings{CTT100585433, author = {中山寛人 and 日野雅文 and 永田晃基 and 小瀬村大亮 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 杉井信之 and 小椋厚志 and 服部健雄 and 岩井洋}, title = {As注入とSiN応力膜によるpoly-Siへの歪記憶の検討}, booktitle = {第56回応用物理学関係連合講演会予稿集}, year = 2009, } @inproceedings{CTT100830625, author = {M. Hino and K. Nagata and T. Yoshida and D. Kosemura and K. Kakushima and P. Ahmet and K. Tsutsui and N. Sugii and A. Ogura and T. Hattori and H. Iwai}, title = {Study on Stress Memorization by Argon Implantation and Annealing}, booktitle = {}, year = 2008, } @inproceedings{CTT100585114, author = {中山寛人 and 日野雅文 and 服部健雄 and 杉井信之 and 筒井一生 and パールハットアヘメト and 角嶋邦之 and 小椋厚志 and 永田 晃基 and 吉田 哲也 and 小瀬村大亮 and 岩井洋}, title = {Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討}, booktitle = {応用物理学会}, year = 2008, } @inproceedings{CTT100576388, author = {日野雅文 and 吉田哲也 and 小瀬村 大亮 and 角嶋邦之 and パールハットアヘメト and 筒井一生 and 杉井信之 and 小椋 厚志 and 服部健雄 and 岩井洋}, title = {SiN応力膜によるSi基板への歪記憶の検討}, booktitle = {春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集}, year = 2008, } @inproceedings{CTT100544687, author = {日野雅文 and 角嶋 邦之 and パールハット アヘメト and 筒井 一生 and 杉井 信之 and 服部 健雄 and 岩井 洋}, title = {HfO2/ La2O3のゲート絶縁膜を用いたSi-MOSFETの電気特性}, booktitle = {秋季第68回応用物理学会学術講演会}, year = 2007, }