@article{CTT100785326,
  author = {Motohiro Takayasu and Ippei Tsuji and Hiroyuki Ito and Daisuke Yamane and Shiro Dosho and Toshifumi Konishi and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {Microgravity Generation Using Tilting Board for Resolution Evaluation of MEMS Accelerometer},
  journal = {Sensors and Materials},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760797,
  author = {高安 基大 and 古賀 達也 and 辻 一平 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 飯田 慎一 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100755389,
  author = {古賀 達也 and 辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100755520,
  author = {辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100752531,
  author = {辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100752532,
  author = {古賀 達也 and 辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100753404,
  author = {Ippei Tsuji and Motohiro Takayasu and Hiroyuki Ito and Daisuke Yamane and Shiro Dosho and Toshifumi Konishi and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100748741,
  author = {辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 道正 志郎 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}