@inproceedings{CTT100903977,
  author = {篠原 健朗 and 宗田 伊理也 and 角嶋 邦之 and 筒井 一生 and 若林 整},
  title = {nMOSFET応用に向けた窒化ハフニウムの硫化による二硫化ハフニウム膜の作製},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}