@inproceedings{CTT100795837, author = {塩田有波 and ChenMo and 山田雄太 and 安岡康一 and 榊田 創 and 金 載浩}, title = {マイクロ波プラズマCVD法を用いたアークレスハイブリッド直流スイッチ向けグラフェン被膜電極の性能評価}, booktitle = {}, year = 2018, }