@misc{CTT100808513, author = {HIROSHI FUNAKUBO and TakaoShimizu and Yuichi Nemoto}, title = {圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置}, howpublished = {PublishedPatent}, year = 2019, month = {}, note = {特願2017-206190(2017/10/25), 特開2019-079948(2019/05/23)} }