@inproceedings{CTT100879546, author = {Tomoki Hori and Satoshi MOMOZONO and ATSUSHI HIRATA and Yuko Aono}, title = {大電力パルススパッタリング法を用いたナノ粒子合成の基礎検討}, booktitle = {2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集}, year = 2022, } @inproceedings{CTT100879547, author = {Shosuke Murai and Satoshi MOMOZONO and Yuko Aono and ATSUSHI HIRATA}, title = {カーボンオニオンにより超精密研磨した単結晶SiC面の加工変質層評価}, booktitle = {2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集}, year = 2022, }