|
濱田昌也 2018年 研究業績一覧 (2件 / 34件)
国内会議発表 (査読なし・不明)
-
五十嵐 智,
松浦 賢太朗,
濱田 昌也,
谷川 晴紀,
坂本 拓朗,
宗田 伊理也,
角嶋 邦之,
筒井 一生,
若林 整.
保護膜を通したフォーミングガスアニールによるスパッタMoS2 膜の結晶性改善,
第79回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2018.
-
谷川 晴紀,
松浦 賢太朗,
濱田 昌也,
坂本 拓朗,
宗田 伊理也,
星井 拓也,
角嶋 邦之,
筒井 一生,
若林 整.
スパッタMoS2膜の HfO2膜越し硫化における表面残留硫黄除去,
第79回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2018.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|