@article{CTT100862022,
  author = {Haruko Akutsu and Reiko Saito and Jun Asakawa and Kei Kiyokawa and Masato Morita and Tetsuo Sakamoto and Masaaki Fujii},
  title = {Distribution of trace impurities in micro volumes and analysis of concentration using laser sputtered neutral mass spectrometry},
  journal = {Journal of Vacuum Science & Technology B},
  year = 2021,
}

@misc{CTT100861336,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  year = 2021,
}

@misc{CTT100861337,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  year = 2021,
}

@misc{CTT100910230,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  year = 2021,
}

@misc{CTT100910231,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  year = 2021,
}



@phdthesis{CTT100861336,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  school = {東京工業大学},
  year = 2021,
}

@phdthesis{CTT100861337,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  school = {東京工業大学},
  year = 2021,
}

@phdthesis{CTT100910230,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  school = {東京工業大学},
  year = 2021,
}

@phdthesis{CTT100910231,
  author = {圷晴子},
  title = {半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発},
  school = {東京工業大学},
  year = 2021,
}