@inproceedings{CTT100886839,
  author = {能川 玄也 and 高野 俊 and 沖代 賢次 and 岡本 篤志 and 磯部 敏宏 and 中島 章},
  title = {TEM-PED を用いた TiN/Si3N4 接合界面における歪解析},
  booktitle = {},
  year = 2023,
}