@inproceedings{CTT100883959, author = {久保 隆顕 and 吉田和弘 and 金 俊完}, title = {マイクロシートバルブを用いた高出力空気圧マイクロポンプの提案}, booktitle = {山梨講演会2022講演論文集}, year = 2022, }