@misc{CTT100594131,
  author = {SHIGEKI NAKAGAWA},
  title = {Heガスを用いた磁界圧着形マグネトロンスパッタ法によるa-Si薄膜の作製},
  year = 1985,
}



@mastersthesis{CTT100594131,
  author = {SHIGEKI NAKAGAWA},
  title = {Heガスを用いた磁界圧着形マグネトロンスパッタ法によるa-Si薄膜の作製},
  school = {金沢大学},
  year = 1985,
}